RLD10-X3-DI差动干涉镜发射头能够测量固定参考镜与移动测量镜之间的相对位移。RLD10-X3-DI发射头尤其适合真空和可控环境应用，可通过一个简单的三针固定架安装在工艺室的外墙上。发射头无需进入工艺室即可校正，内置激光准直辅助镜可对参考和测量光束的俯仰和扭摆进行独立的调整，安装系统的设计允许拆卸发射头和调整发射头位置，对系统准直的影响极小。
上述数值是基于使用RLD10-X3-DI发射头和RLU20激光装置
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RLD10-X3-DI差动干涉镜发射头能够测量固定参考镜与移动测量镜之间的相对位移。RLD10-X3-DI发射头尤其适合真空和可控环境应用，可通过一个简单的三针固定架安装在工艺室的外墙上。发射头无需进入工艺室即可校正，内置激光准直辅助镜可对参考和测量光束的俯仰和扭摆进行独立的调整，安装系统的设计允许拆卸发射头和调整发射头位置，对系统准直的影响极小。