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激光干涉仪系统

ML10 squareness measurement Renishaw的激光干涉仪系统可对机床、坐标测量机 (CMM) 及其他位置精度要求关键的运动系统进行全面的精度评估。

这些系统采用安装在外部的分光镜实现高精度、可重复、可溯源的测量。

Renishaw有两款用于机器性能评估的激光系统:XL-80(2007年投产)及ML10系统 — (1988 - 2007)。

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XL-80激光系统 ML10激光系统 附件 RX10回转轴校准装置 干涉测量法说明
 XL-80 calibration laser  ML10 laser interferometer system  Laser optics  RX10 rotary axis calibrator  Interferometer

轻型激光系统:性能±0.5 ppm, 4.0 m/s

 

Renishaw早期的激光系统

 

光学镜组、接口、电缆、三脚架、便携箱

 

回转轴校准精度达到1秒

 

干涉测量的原理

规格

不断对产品进行改进和完善是Renishaw的一贯政策。 我们尽力确保这些网页上提供的规格是准确的。 但是,Renishaw保留更改产品外观和规格的权利,恕不另行通知。客户在询问时应与我们确认。

后续步骤

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