SEM-拉曼系统

功能

• 从SEM (SEI和BEI) 获得形貌和平均原子数
  
  
• 从EDS分析获得元素成分
  
  
• 从拉曼光谱获得化学成分和物质鉴定
  
  
• 从拉曼光谱获得物理结构
  （晶体的及力学数据）
  
• 从阴级发光 (CL) 和光致发光 (PL) 获得电子及物理结构信息
  

应用

包括：

• 材料科学
  腐蚀研究、电子材料、高分子、复合材料
• 半导体
  鉴别微粒污染物等
• 药品
  涂层、药物填料和成形剂鉴别及化学相态的研究
• 刑侦科学
  炸药、毒品、纤维、颜料的鉴定

优势

• 同时做扫描电镜 (SEM) 和拉曼光谱
  用SEM可方便地确定感兴趣的区域。然后可以用拉曼光谱快速确切地鉴定这些区域。
• 来自相同样品位置的能谱 (EDS) 和白光成像
  与SEM成像和拉曼光谱一样，能谱、逐点扫描成像及白光成像均可从相同样品位置获得。
• 阴极发光 (CL) 和光致发光 (PL) 光谱
  用于拉曼光谱收集的光学元件与光致发光 (PL) 和阴极射线发光 (CL) 光谱完全兼容。前者使用激光作为激发源，而后者用电子束。每种技术都能够揭示样品在电子学和物理学两方面的信息，而阴极射线发光对样品成分和残留应力的细微变化十分敏感。