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XY(平面镜)系统

Dual axis plane mirror application XY(平面)RLE系统包括一个双轴 RLU激光装置和两个发射头(可与平面光学镜组配合使用)。激光装置的选择很大程度上取决于操作环境,RLU20特别适合真空和可控环境应用。RLU10激光装置在RLE10系统内使用,RLU20激光装置在RLE20系统内使用。

规格

数据格式 数字信号 - RS422方波
模拟信号 - 1 Vpp正弦/余弦
分辨率 数字信号-用户可选,最高可达10 nm(采用平面光学镜)
模拟信号-亚纳米,通过外部细分(例如RPI20并行接口)实现
最高速度 1 m/s(使用平面光学镜)
激光类型 HeNe(氦/氖),常温常压下波长632.8 nm,II级
激光稳频精度 任意一小时期间±50 ppb (RLU10)
任意一小时期间±2 ppb (RLU20)
激光寿命 >50000小时
最大轴长 1 m(使用平面镜光靶光学镜)

对于非真空应用,为了维持变动环境条件下的精度,需要某种形式的折射率补偿。Renishaw提供RCU10实时补偿系统,可以对环境变化进行补偿。

RPI20并行接口集成到RLE系统中,可达到38.6皮米的分辨率。该接口可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号并提供平行输出格式。有关RCU10补偿系统、RPI20以及与RLE系统和HS10长距离激光尺配合的其他辅助设备的相关信息,请参阅附件

后续步骤

如果您需要了解更多信息或者询价, 或有其他要求,可以直接联络当地的Renishaw办事处


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